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東莞市夏陽新材料有限公司

2025年3月7日 星期五 15時55分04秒

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半導體設備
陶瓷真空吸盤
陶瓷真空吸盤 是一種特殊的真空吸盤采用多孔陶瓷材料制成，具有高孔隙率、高強度、高平整度等特點，廣泛應用于半導體晶圓的切割、研磨、檢測等工序

產品特點

1、精度高

2、氣密性好

3、吸附力均勻

4、耐磨損、耐腐蝕

▲其可達到平面度0.002mm，平行度可達到0.003mm

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材料 孔徑(um)孔隙率壓差(bar)電阻率顏色
氧化鋁5-5015-45%351x1011深灰色/土黃色
碳化硅10-5015-45%301x108黑色

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