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2025
年
3
月
7
日
星期五
15
時
55
分
01
秒
服務電話：13902696473
語言：English
歡迎來到東莞市夏陽新材料有限公司官方網站，本公司主營各種先進陶瓷和硬質合金，產品包括：氧化鋯陶瓷 (ZrO2)，氧化鋁陶瓷(Al2O3)，氮化硅陶瓷(Si3N4)，碳化硅陶瓷(SiC)，氧化鎂鋯陶瓷，鎢鋼加熱板，鎢鋼模具，鎢鋼零部件，鎢鋼軋輥，陶瓷軋輥，陶瓷泵閥，灌裝泵閥，焊接輥，成型輥，導軌、定位塊，水刀棒等等！
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13827236739
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13066193998
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半導體設備
陶瓷機械手臂
陶瓷機械手臂又稱、陶瓷機械手指、晶圓托盤、晶圓機械手臂等,主要在半導體設備中起到輸送搬運的作用，它相當于半導體設備這個機器人的手，負責搬運晶圓硅晶片到指定位置。
產品特點
產品精度高
氣密性好
耐高溫性好
表面電阻率可控
耐酸堿、抗腐蝕能力強，能適應極度惡劣
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產品性能
單位
參數
電阻率
Ω
碳化硅
1x10
5
氧化鋁
1x10
14
最高使用溫度
℃
分體式手臂
350
一體式手臂
800
吸附面光潔度
Ra
0.01
吸附面平面度
m m
0.01內
▲ 自密性檢測:關閉真空氣源，負壓-85Kpa到-80Kpa，時長達60s以上
▲ 晶圓吸附檢測:關閉真空氣源，負壓-80Kpa到-25Kpa，時長達35s以上
粵公網安備 44190002005093號
粵ICP備13019361號
東莞市夏陽新材料有限公司 版權所有
友情鏈接：
廣東夏陽精細陶瓷科技有限公司
業務微信
微信：13066193998
郵箱：msg@xycarbide.com
地址：廣東省東莞市常平鎮黃泥塘工業區巷口路28號
座機：0769-8393 9973
手機：139 0269 6473
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